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在半导体器件生产车间,由于尘埃吸附在芯片上,尤其是超大规模集成电路的成品率会大大下降。生产车间操作人员都穿洁净工作服,若人体带静电,则极易吸附尘埃、污物等,若这些尘埃、污物被带到操作现场的话,将影响产品质量,恶化产品性能、大大降低成品率。如果吸附的灰尘粒子的半径大于线条宽度约时,薄膜厚度在下时,则最易使产品报废。
所以在的加工生产和封装过程中建立起静电防护系统是很有必要的IC封装生产线对静电的要求更为严格。为了保证生产线的正常运行,对其洁净厂房进行防静电建筑材料的整体装修,对进出洁净厂房的所有人员配备防静电服装等采取硬件措施外,封装企业可根据国家有关标准和本企业的实际隋况制定出在防静电方面的企业标准或具体要求,来配合封装生产线的正常运转。
由于即除尘又除静电的设备品种较多,如何选择适合自己的产品主要根据生产线上的状况来决定。以下介绍几种即除尘又除静电的设备:
1、离子风枪:它的特点是手持式的,操作方式很随意,它比较适合用在检验部位,检验者看到那里有灰尘只要拿起风枪吹一下就可以了。
2、离子风嘴:它是固定式的产品,体积小,不占地方,它比较适合流水线上或部分空间狭小的工位。也可以做成脚踏式和感应式。
3、离子风蛇:它有三种款式:普通式、感应式和脚踏式,可以满足客户生产现场不同环境的需要。适合用在有空间放置,无需人员操作,但需要经常调整吹尘方向的工位。
除以上产品在部分流水线和操作工位上还需装离子风机,从而降低静电的累积,避免产品在不知不觉中被击穿。可以选用我司的悬挂式离子风机,消电面积大,不占用工作空间,可以根据工作台的大小或流水线的宽度来选择。
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